工業技術総合研究所が保有するEPMAをご紹介します。
EPMAは、SEM-EDSと同様に幅広い分野で活用されています。

SEM-EDSについてはこちら
◆1. SEM-EDS　原理・前処理編　   • 【機器分析講習会】SEM-EDS　1. 原理・前処理編  
◆2. SEM-EDS　測定編　   • 【機器分析講習会】SEM-EDS　2. 測定編